Uhlíkový tetrafluorid CF4 je zdrojom fluóru fluóru a voľného radikálu, ktorý sa používa v rôznych procesoch leptania doštičiek. Uhlíkový tetrafluorid CF4 sa kombinuje s kyslíkom na lept polysilikón, oxid kremík a nitrid kremíka. Uhlíkový tetrafluorid je za normálnych podmienok relatívne inertný a môže spôsobiť udusenie v nevlenených oblastiach. V prostredí vysokofrekvenčnej plazmy sa voľné radikály fluóru objavujú vo forme typického trifluoridu uhlíka alebo uhlíka. Vysoko čistotný uhlíkový tetrafluorid môže dobre kontrolovať proces spracovania, takže veľkosť a tvar sa dajú lepšie kontrolovať. Toto sa líši od iných halocarbónov, ktoré nevedú k rôznym špeciálnym kontrolám (ako je regulácia polovodičovej anizotropie), keď sa stretávajú s vzduchom alebo kyslíkom. Jeho plynný plyn a zmes vysokokvalitných uhlíkových tetrafluoridových plynov a vysokokvalitného katiónového kyslíka sa môžu široko používať pri leptaní sviečok kremíku, oxidu kremíka, kremíkového nitridu, kremíkového skla kremíka a fosforu.
Uhlíkový tetrafluorid CF4 má anestetický účinok vo vysokých koncentráciách. Jeho plyn s vysokou čistotou a jeho zmes s vysokým čistým kyslíkom sú najpoužívanejšie plyny leptania plazmy v mikroelektronike. Môžu sa tiež používať ako nízkoteplotné chladivá a izolačné médiá s nízkou teplotou. Má dobrú chemickú a tepelnú stabilitu, je inertná pre mnoho reagencií a nena hydrolyzuje 1 000 stupňov. Pri teplote miestnosti nereaguje s meďou, niklom a volfrámom. V dôsledku mimoriadne silnej chemickej stability CF väzby sa perfluórky reprezentované CF4 môžu považovať za v podstate netoxické.
Tetrafluórmetán (CF4) má vysokú stabilitu a je úplne nehanebný plyn. Nereaguje s kyselinami, alkálnymi a oxidantmi pri teplote miestnosti, nereaguje s prechodnými kovmi, ako sú Cu, Ni, W a Mo pod 900 stupňov, a nereaguje s uhlíkom, vodíkom a CH4 pod 1 000 stupňom. Môže reagovať s tekutými kovovými činidlami s amoniakom sodíkom pri teplote miestnosti a CF4 môže reagovať s alkalickými kovmi, alkalickými zemskými kovmi a SiO2 pri vysokých teplotách, aby sa vytvorili zodpovedajúce fluoridy. CF4 sa začína rozkladať pri 800 stupňov a môže reagovať s CO a CO2 za vzniku COF2 pri pôsobení elektrického oblúka. Niektorí ľudia sa tiež pokúsili polymerizovať CF4 pri teplotách oblúka uhlíka, aby syntetizovali ďalšie fluórované uhlie.
Populárne Tagy: CF4, Čína CF4 Výrobcovia, dodávatelia, továreň, Uhlíkový tetrafluorid CF4CF4 plynElektronický uhlíkový tetrafluorid CF4 99 999Vysoký čistota uhlíka tetrafluorid
